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发明名称
能提供不同容积之质量流动校对机及其相关方法
摘要
本发明之具体实施例系被导引至藉由使用每一者皆具有不同且选定的尺寸之多个容积(volumes),以在大范围流动上对质量流动率进行高精密测量有用之系统、方法与装置,其中包含软体实施。单一液体压力计(manometer)之使用可促进降低成本,且根据在该质量流动校对机、或相关的一测试装置的整体范围中的次流动(sub-flow)范围,所决定尺寸之多个腔体容积之使用,可提供测量上的高精确度,同时减少在流动测量中杂讯的有害影响。
申请公布号
TW200916735
申请公布日期
2009.04.16
申请号
TW097123823
申请日期
2008.06.26
申请人
MKS公司
发明人
丁军华;冉凯维
分类号
G01F25/00(2006.01)
主分类号
G01F25/00(2006.01)
代理机构
代理人
林秋琴;何爱文
主权项
地址
美国
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