使用微波以制造太阳能电池的方法及装置

摘要

一种制造太阳能电池的方法包含：形成一第一电极于一基板上；形成一第一杂质掺杂半导体层于该第一电极上；形成一非晶矽之第一本质半导体层于该第一杂质掺杂半导体层上；形成一第二杂质掺杂半导体层覆盖该第一杂质掺杂半导体层；形成一第二电极覆盖该第二杂质掺杂半导体层；及辐射一第一微波以藉由使该第一本质半导体层结晶而形成一微晶矽之第二本质半导体层。