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发明名称 Vakuumbeschichtungsanlage und Verfahren zur Beschichtung von Substraten
摘要
申请公布号 DE10323295(B4) 申请公布日期 2009.04.16
申请号 DE20031023295 申请日期 2003.05.21
申请人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH 发明人 HEISIG, ANDREAS;GODER, REINHARD
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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