用于金属之化学机械抛光的浆体组成物及使用其之抛光方法

摘要

提供一种用于金属之化学机械抛光(CMP)之浆体组成物。该浆体组成物包含其平均分子量由约600,000至约1,300,000及其单体为丙烯酸及丙烯醯胺呈约1：30至约30：1之莫耳比之一种共聚物。该浆体组成物具有非普列斯东(Prestonian)表现来达成减少凹陷与高度平坦化。