检查装置

摘要

本案发明之检查装置系高精度检查在物品表面产生之3次元形状之缺陷。本案发明之第1扫描台系拍摄从斜向对CSP胶带照射光而反射之光所产生之图像，第2扫描台系拍摄从上方对CSP胶带照射光而反射之光所产生之图像。其次，本案发明之电脑系在以第1扫描台得到的图像中撷取浓度位准明显较低之区域，并且在以第2扫描台得到的图像中撷取浓度位准明显较高之区域，当撷取的各区域为大致相同的位置时，即判定该区域为3次元之缺陷。