发明名称 Reduzierung aufsummierter systematischer Fehler bei einem Korrelationslängenmesssystem mit Auflösung im Subpixelbereich
摘要
申请公布号 DE60231357(D1) 申请公布日期 2009.04.16
申请号 DE20026031357 申请日期 2002.04.25
申请人 MITUTOYO CORP. 发明人 NAHUM, MICHAEL
分类号 G01B11/00;G01B11/16 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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