有机半导体元件之制造方法、有机半导体元件以及有机半导体装置

摘要

本发明之目的在于提供一种有机半导体元件之制造方法，其能防止活性层的电特性降低，且能依具有良好图案形状之方式而形成经图案化之活性层。为达成该目的，本发明的有机半导体元件之制造方法系具有下述步骤：将由支撑薄膜与活性层所积层成的积层体、与用以形成活性层的元件基板，以使积层体的活性层与元件基板相接触之方式进行贴合的步骤；在支撑薄膜之与活性层为相反侧之面上，形成具有既定图案形状之遮罩的步骤；以及藉由将未形成遮罩之区域的积层体去除，而将活性层施行图案化的步骤。