| 摘要 |
一种双模式工作之电浆反应器装置，包含至少两个气体输入埠之气体漩流空腔、设置于气体空腔内之第一电极、设置于气体空腔内并与第一电极相对之第二电极、设于第一电极与第二电极间之绝缘间隔层、设于第一电极外侧之磁场产生装置、及设于气体漩流空腔外之气体输入缓冲空腔，另有高压电源装置与第一电极及第二电极电性耦接。藉以利用气体放电在气体漩流空腔内产生非热电浆，随气流移动到出口做清洁物件表面之用；达到操作简单，并可以依照不同清洁物件的污染特性需求，藉由调整施加功率，改变放电模式，有效达到清洁、省电及降低成本之功效。 |
