发明名称 洗净装置、洗净方法、预备吐出装置、及涂布装置
摘要 本发明要提供一种洗净装置、洗净方法、预备吐出装置、及涂布装置,在预备吐出动作时没有使用底涂辊子的预备吐出装置,能获得高洗净性。上述洗净装置,是将在涂布装置的预备吐出动作所使用的预备吐出装置的预备吐出面(81)予以洗净的装置(100)。该洗净装置,具有:在涂布有液状体的预备吐出面(81)上滑动来刮除液状体的复数的刮板(110a)、(110b)、(110c);或者将一个以上的刮板支承为:让其与预备吐出面(81)的接触端的长度方向相对于滑动方向成斜向的姿势;或者具有:对刮板的滑动方向侧的面来供给洗净液的洗净液供给部。
申请公布号 TW200916204 申请公布日期 2009.04.16
申请号 TW097124248 申请日期 2008.06.27
申请人 东京应化工业股份有限公司 发明人 升芳明;宫本英典;吉泽健司;山口和伸
分类号 B05C9/10(2006.01);B05C21/00(2006.01);H01L21/027(2006.01);G03F7/16(2006.01) 主分类号 B05C9/10(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本