发明名称 覆晶封装制程
摘要 一种覆晶封装制程,其系至少包含下列步骤:首先,提供一包含有至少一基板单元之基板条;接着,设置至少一晶片于该基板单元,该晶片系电性连接该基板单元;之后,设置一模板于该基板条之一上表面,该模板与该基板条之间系具有一气隙,该模板具有至少一开口及一抽气槽孔,该气隙系连通该开口及该抽气槽孔,且该晶片系位于该开口内;最后,形成一胶体于该模板之该开口以包覆该晶片,并藉由该抽气槽孔及该气隙进行一抽真空步骤,以防止空气被包覆于该胶体中而形成气泡。
申请公布号 TW200917381 申请公布日期 2009.04.16
申请号 TW096136976 申请日期 2007.10.02
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 发明人 唐和明;赵兴华;李明锦;黄泰源;刘昭源;黄咏政;李德章;高仁杰;陈昭雄
分类号 H01L21/56(2006.01) 主分类号 H01L21/56(2006.01)
代理机构 代理人 张启威
主权项
地址 高雄市楠梓加工出口区经三路26号