| 摘要 |
本发明的课题为：本发明要提供一种紫外线照射装置，让固定着紫外线灯的基板不会挠曲，能让紫外线灯与被处理物的间隔距离保持为一定，能均匀地处理被加热物。本发明的解决手段为︰本发明的紫外线照射装置，是具有：在上方具有开口的处理室（9）的上部所配置的管状的紫外线灯（1），之紫外线照射装置（D1），该紫外线照射装置（D1），具有：用来支承紫外线灯（1）的基板（2）、用来使紫外线灯（1）亮灯的亮灯手段（41）、（42）、以及载置着亮灯手段（41）、（42）的架设板（5）；基板（2）的紫外线灯（1）的管轴方向的两端（A），载置于：用来将于处理室（9）所设置的紫外线照射装置予以支承的支承体（93）上，架设板（5）的部分与基板（2）分隔，架设板（5）本身的重量施加在支承体（93）上。 |
