微机电系统显示装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种MEMS装置，其包括用于LCD或OLED制造中以有助于在相同制造系统上进行之制造的材料。当可能时，相同或类似材料用于MEMS装置中之多个层，且可避免将透明导体用于部分透明电极以最小化所需材料之数目及最小化制造成本。某些层包含经选择以达成所要性质之合金。在制造过程期间可使用对沈积层之中间处理以提供具有所要性质之层。