包含稠合芳香环之抗反射涂料组合物

摘要

本发明系关于一种包含聚合物之有机可旋涂抗反射涂料组合物，该聚合物包含至少一个在聚合物之主链中具有3个或3个以上稠合芳香环之单元及至少一个在聚合物之主链中具有脂族部分之单元。本发明另外系关于一种使本发明之组合物成像之方法。