用于缺陷检测之多重照明路径系统与方法

摘要

一种系统与方法，该系统包括一处理器、一成像路径、以及多重照明路径；该处理器从多重照明路径中选择一照明路径，使得选定的照明路径照明一导体表面以及一导体表面缺陷，使得不论导体导体表面之粗糙程度，表面缺陷之一影像实质上为黑色的，而导体表面之一影像实质上为白色的；且其中该处理器选择一照明路径，其照明一半透明介电表面以及一半透明介电表面缺陷，使得不论半透明表面之粗糙程度为何，半透明表面缺陷之影像实质上为白色的，而半透明表面之影像实质上为黑色的。