不具小凸起之薄膜电晶体

摘要

一种薄膜电晶体，包括一基板，一闸极，形成于该基板上，一闸极绝缘层，形成于该闸极上，一非晶矽层，形成于该闸极绝缘层上，一源极和一汲极，形成于该非晶矽层上，且该源极和该汲极之间对应于该闸极上方处具有一通道且一保护层，形成于该源极和该汲极上并填满该通道，其中，该闸极或该源极-汲极包括，一铝金属层，其中该铝金属层为以铝为主要成分之金属层；一缓冲层，其中该缓冲层于该铝金属层之上且该缓冲层为一铝-锗合金或一铝-钆合金或一铝-锗-钆合金。