| 摘要 |
本发明提供一种小型且可有效率冷却加热处理后之被处理体的板状被处理体冷却装置。本发明之板状被处理体冷却装置1，具有板状被处理体90之配置部11、及包含上侧冷却部20与下侧冷却部30之冷却部。上侧冷却部20及下侧冷却部30，配置于被处理体配置部11之上下，设置有内侧板21、31、外侧板22、32及风扇29、39。且在整个区域上形成有连通该内侧板21、31及外侧板22、32的藉由筒状体26、36所形成之第1贯通孔28、38与贯通内侧板21、31之第2贯通孔25、35。使风扇29、39作动，让外部空气从第1贯通孔28、38通过，冷却被处理体90，从第2贯通孔25、35通过中间空间23、33排出到外部。 |
