观察装置及观察方法、以及检查装置及检查方法

摘要

本发明之检查装置，具有：摄影部30，用以拍摄被检物之第1范围及相对该第1范围偏移于既定方向之第2范围；差分处理部44，用以求得第1范围之影像与第2范围之影像对应于该既定方向之部分之讯号的差分；以及检查部46，根据差分处理部44之处理结果来进行被检物有无缺陷之检查。