材料混合与分配之系统与方法

摘要

混合纯粹供给材料的系统和方法采用第一与第二可压缩体积，其例如由加压分配用的第一与第二衬底容器所界定，其中材料供应到混合设备(如可逆流动或循环流动设备)，以形成混合物或悬浮液及维持其状态。多个容器套组用来混合一组容器的内容物，同时分配另一组容器的内容物，如此可连续输送供给材料至处理工具。感测器设置来产生信号指示流量、重量/质量、微粒尺寸分布、浓度和其他材料性质。