| 摘要 |
一种有机电激发光装置的制造方法，当形成对有机EL元件进行密封的包含无机物层的被覆膜时，能够抑制对有机EL元件造成的损伤。有机EL元件（20）是在至少其中之一为透明或半透明的一对电极之间夹持包含发光层的有机EL层（22）而构成，密封层（30）含有与有机EL元件（20）接触的至少1层的无机物膜，且对该有机EL元件（20）进行密封。当在基板（10）上形成有机EL元件（20）与密封层（30）时，利用对向靶溅镀法来形成密封层（30）中的与有机EL元件（20）接触的第1密封膜（31），利用对向靶溅镀法以外的其他成膜方法来形成密封层（30）中的其他无机物膜。 |
