生产高纯度六氟化钨之方法及装置

摘要

本发明描述藉由使用含碳材料纯化WF#sB!6#eB!气体之装置及方法。该等装置及方法特别适用于移除高挥发性杂质且适用于移除过渡金属杂质，尤其为铬及钼。