喷墨头装置

摘要

本发明所要解决的技术问题是，在一种使用具有多个喷嘴的喷墨头，将材料涂布在基板上的多个位置的装置中，测量从头安装时的目标位置开始的偏差，通过有效且高精度的修正，成品率高地制造制品基板。本发明中，通过在多个设置于装置上的喷墨头中，以的头为基准，使用喷嘴照相机，测量该头1的两端喷嘴(间距d)的位置，来预先对所有的头进行位置校正。进而，将材料图案涂布到调整用基板，通过观测涂布点的位置，来测量从目标位置的偏差(间距D)，从其差量计算移动量，进行各头间的喷嘴的XYθ方向位置校正。

主权项

1.一种喷墨装置，其特征在于，在具有将多个喷嘴二维地直线状配置数列的喷墨头和能够设置多个上述喷墨头的移动框架以及能够设置各种基板的基板台的框架移动型液材料涂布装置中，具有用于设置上述喷墨头的安装托架和具有在XYθ方向任意驱动上述安装托架的功能的头移动机构以及用于观测各部分的状态的照相机。