固态成像装置及其制造方法

摘要

本发明公开了一种固态成像装置，其包括：具有多个像素的衬底；以及多个布置在衬底上的片上透镜，每个片上透镜具有透镜表面，通过将透明感光膜使用具有梯度图案的掩模曝光并显影形成透镜表面，使得透镜表面根据梯度图案来校正荫影。

主权项

1、一种固态成像装置，包括：具有多个像素的衬底；以及多个布置在所述衬底上的片上透镜，每个片上透镜具有透镜表面，通过将透明感光膜使用具有梯度图案的掩模曝光并显影来形成所述透镜表面，使得所述透镜表面根据所述梯度图案来校正荫影，其中所述透镜表面由下面的表面函数定义，$Z\left(y\right)=\frac{{\mathrm{cy}}^2}{1+\sqrt{1-(1+k)c^2{y}^2}}+y\tan \left(\frac{{\theta }_i}{n-1}\right),$其中Z(y)是下垂量，其是在Z方向上距每个透镜中心的距离，k是锥形常数，y是距离透镜中心的距离，c是曲率，n是制成透镜的材料的折射率，θi是入射角。