AN INTERCONNECT STRUCTURE WITH DIELECTRIC AIR GAPS,申请号EP20070840384-传众专利搜索

发明名称	AN INTERCONNECT STRUCTURE WITH DIELECTRIC AIR GAPS
摘要
申请公布号	EP2047505(A2)	申请公布日期	2009.04.15
申请号	EP20070840384	申请日期	2007.07.10
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION	发明人	YANG, CHIH-CHAO
分类号	H01L21/768;H01L23/52	主分类号	H01L21/768
代理机构		代理人
主权项
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