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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 EP1424409(A4) 申请公布日期 2009.04.15
申请号 EP20020765418 申请日期 2002.09.05
申请人 COVALENT MATERIALS CORPORATION 发明人 ABE, YOSHIHISA;SUZUKI, SHUNICHI;NAKANISHI, HIDEO;TERASHIMA, KAZUTAKA;KOMIYAMA, JUN
分类号 C30B25/02;H01L21/04;(IPC1-7):C30B29/36 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
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