悬臂梁式波长可调谐垂直腔面发射激光器结构及制备方法

摘要

悬臂梁式波长可调谐垂直腔面发射激光器结构及制备方法属于半导体光电子器件领域。WDM系统中激光器不能实现更多波长选择。该结构包括正电极层(1)、上分布反馈布拉格反射镜(20)、腐蚀停层(4)、p型欧姆接触(5)、铝砷化镓氧化电流限制层(6)、有源区(7)、下分布反馈布拉格反射镜(40)、n型砷化镓衬底(10)、衬底电极(11)，特征在于：上分布反馈布拉格反射镜(20)和p型欧姆接触层(5)之间设置中空牺牲层(30)；空气隙层(12)是中空牺牲层(30)的中空部分；上分布反馈布拉格反射镜(20)与空气隙层(12)共同组成悬臂梁式可动反射镜结构。本发明实现了微机械可动反射镜的波长可调谐垂直腔面发射激光器结构设计和器件制备。

主权项

1、悬臂梁式波长可调谐垂直腔面发射激光器结构，从上至下依次包括有正电极层(1)、上分布反馈布拉格反射镜(20)、腐蚀停层(4)、p型欧姆接触(5)、铝砷化镓氧化电流限制层(6)、有源区(7)、下分布反馈布拉格反射镜(40)、n型砷化镓衬底(10)、衬底电极(11)，其特征在于：上分布反馈布拉格反射镜(20)和p型欧姆接触层(5)之间设置中空牺牲层(30)；所述的中空牺牲层(30)的中空部分是空气隙层(12)，空气隙层(12)厚度是激光器激射波长四分之一长度的整数倍；由上分布反馈布拉格反射镜(20)与空气隙层(12)共同组成悬臂梁式可动反射镜结构。