发明名称 InP基板上的Ⅱ-Ⅵ/Ⅲ-Ⅴ多层结构
摘要 提供一种包括InP基板和II-VI及III-V材料交替层的多层结构。一般地,II-VI及III-V材料交替层与InP基板晶格匹配或者假同晶。一般地,II-VI材料选自ZnSe、CdSe、BeSe、MgSe、ZnTe、CdTe、BeTe、MgTe、ZnS、CdS、BeS、MgS和它们的合金,更一般地,选自CdZnSe、CdMgZnSe、BeZnTe和BeMgZnTe合金,最一般选自Cd<sub>x</sub>Zn<sub>1-x</sub>Se,其中x在0.44和0.54之间。一般地,III-V族材料选自InAs、AlAs、GaAs、InP、AlP、GaP、InSb、AlSb、GaSb和它们的合金,更一般地选自InP、InAlAs、GaInAs、AlInGaAs和GaInAsP合金,最一般地选自InP或In<sub>y</sub>Al成一个或多个分布布喇格反射镜(DBR)。另一方面,本发明提供一种含有InP基板和分布布喇格反射镜(DBR)的多层结构,该分布布喇格反射镜具有95%或更高的反射率并至多包括15对外延半导体材料涂层。另一方面,本发明提供一种含有本发明所述多层结构的激光器。另一方面,本发明提供一种含有本发明所述多层结构的光电探测器。
申请公布号 CN100479279C 申请公布日期 2009.04.15
申请号 CN200580018674.3 申请日期 2005.04.29
申请人 3M创新有限公司 发明人 孙晓光;托马斯·J·米勒;迈克尔·A·哈斯
分类号 H01S5/183(2006.01)I;H01L31/0248(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I 主分类号 H01S5/183(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 梁晓广;陆锦华
主权项 1.一种多层结构,其包括:InP基板;以及II-VI和III-V材料的交替层;所述II-VI材料选自BeZnTe、BeMgZnTe和CdxZn1-xSe构成的组,其中x在0.44和0.54之间;其中,所述II-VI和III-V材料的交替层形成一个或多个分布布喇格反射镜。
地址 美国明尼苏达州