| 发明名称 | 用于后CMP清洗工艺的改良碱性溶液 | ||
| 摘要 | 本发明提供了碱性后CMP清洗溶液，其含有：至少两种选自有机胺和/或季铵氢氧化物的碱性化合物，至少一种有机酸化合物，和能抑制原料腐蚀的抑制剂化合物。抑制剂化合物优选是巯基化合物。在一个实施方式中，清洗溶液含有至少两种有机胺，但基本不含季铵氢氧化物。清洗溶液优选具有约7-12的pH。 | ||
| 申请公布号 | CN101410503A | 申请公布日期 | 2009.04.15 |
| 申请号 | CN200780010918.2 | 申请日期 | 2007.03.09 |
| 申请人 | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 | 发明人 | M·费希尔 |
| 分类号 | C11D11/00(2006.01)I;G03F7/42(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I;H05K3/26(2006.01)I;C11D7/32(2006.01)I;C11D7/06(2006.01)I;C11D7/26(2006.01)I;C11D7/34(2006.01)I | 主分类号 | C11D11/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 林柏楠;刘金辉 |
| 主权项 | 1.一种清洗溶液，其含有：至少两种选自有机胺和季铵氢氧化物中的碱性化合物；至少一种有机酸化合物；和巯基化合物。 | ||
| 地址 | 法国巴黎 | ||