发明名称 有机发光显示器及其制造方法
摘要 本发明公开了一种有机发光二极管(OLED)显示器及其制造方法,其中通过在形成像素分隔层之后并且在沉积有机层之前执行表面处理工艺,改进了用作像素电极的氧化铟锡(ITO)层的表面特性。形成平板显示器电极的方法包括:在基板上形成电极材料;图形化该电极材料,以形成电极图案;在该基板上形成具有沉积厚度的绝缘层;蚀刻该绝缘层,以露出该电极图案的一部分;在该绝缘层被从沉积厚度蚀刻预定厚度的条件下,执行表面处理工艺。
申请公布号 CN100479103C 申请公布日期 2009.04.15
申请号 CN200610003376.3 申请日期 2006.02.07
申请人 三星移动显示器株式会社 发明人 金在中;朴峻永;李政烈;闵卿旭
分类号 H01L21/283(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I 主分类号 H01L21/283(2006.01)I
代理机构 北京德琦知识产权代理有限公司 代理人 罗正云;宋志强
主权项 1、一种制造平板显示器电极的方法,包括:在基板上形成电极材料;形成电极图案;在该基板上形成具有沉积厚度的绝缘层;蚀刻该绝缘层,以露出该电极图案的一部分;和执行表面处理工艺,其中从该沉积厚度蚀刻该绝缘层100-1000<img file="C2006100033760002C1.GIF" wi="42" he="52" />的预定厚度。
地址 韩国京畿道