Monitoring dimensions of features at different locations in the processing of substrates,申请号EP20040019809-传众专利搜索

发明名称	Monitoring dimensions of features at different locations in the processing of substrates
摘要
申请公布号	EP1517357(A3)	申请公布日期	2009.04.15
申请号	EP20040019809	申请日期	2004.08.20
申请人	APPLIED MATERIALS, INC.	发明人	BARNES, MICHAEL;HOLLAND, JOHN;SHAN, HONGQING;PU, BRYAN Y.;JAIN, MOHIT;SUI, ZHIFENG;ARMACOST, MICHAEL D.;HANSON, NEIL E.;MA, DIANA XIAOBING;SINHA, ASHOK K.;MAYDAN, DAN
分类号	H01J37/32;H01L21/66;H01L21/00;H01L21/02	主分类号	H01J37/32
代理机构		代理人
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