光控制元件及其制造方法

摘要

本发明公开了一种具有脊型波导的光控制元件，旨在提供一种具有单模波导的光控制元件，尤其，即使基板为厚度10μm以下的薄板，也可精度良好地制造并提供具有单模波导的光控制元件。本发明的光控制元件，其特征在于，具有形成有光波导的基板(1)，该基板为厚度10μm以下的薄板，该光波导的至少一部分为脊型波导(21)，在该脊型波导的至少一部分的两侧具有宽度10μm以下的沟槽(20)，具有通过使该沟槽的宽度或深度连续变化而使该波导的光传播模式在单模和多模之间连续变化的锥形波导部(区域B)。另外，优选该锥形波导部被配置在入射部及/或出射部，在该配置部中波导成为单模光。

主权项

1.一种光控制元件，具有形成有光波导的基板，其特征在于，该基板为厚度10μm以下的薄板，该光波导的至少一部分为脊型波导，在该脊型波导的至少一部分的两侧具有宽度10μm以下的沟槽，具有通过使该沟槽的宽度或深度连续变化而使该波导的光传播模式在单模和多模之间连续变化的锥形波导部。