发明名称 非易失性存储装置及其操作方法和制造方法
摘要 本发明提供一种非易失性存储装置及其操作方法和制造方法。所述非易失性存储装置可以包括至少一个半导体层、多个控制栅电极、多个电荷存储层、至少一个第一辅助电极和/或至少一个第二辅助电极。多个控制栅电极可以凹陷到半导体层中。多个电荷存储层可以在多个控制栅电极和半导体层之间。第一和第二辅助电极可以布置成彼此面对。多个控制栅电极可以在第一和第二辅助电极之间,第一和第二辅助电极可以与半导体层电容式结合。
申请公布号 CN101409290A 申请公布日期 2009.04.15
申请号 CN200810144944.0 申请日期 2008.08.13
申请人 三星电子株式会社 发明人 金锡必;朴允童;金德起;金元柱;陈暎究;李承勋
分类号 H01L27/115(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I;G11C16/10(2006.01)I;G11C16/26(2006.01)I 主分类号 H01L27/115(2006.01)I
代理机构 北京铭硕知识产权代理有限公司 代理人 郭鸿禧;罗延红
主权项 1、一种非易失性存储装置,包括:至少一个半导体层;多个控制栅电极,凹陷到半导体层中;多个电荷存储层,在多个控制栅电极和半导体层之间;至少一个第一辅助电极和至少一个第二辅助电极,第一辅助电极和第二辅助电极布置成彼此面对,其中,多个控制栅电极在第一辅助电极和第二辅助电极之间,第一辅助电极和第二辅助电极与半导体层电容式结合。
地址 韩国京畿道水原市