发明名称 |
非易失性存储装置及其操作方法和制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种非易失性存储装置及其操作方法和制造方法。所述非易失性存储装置可以包括至少一个半导体层、多个控制栅电极、多个电荷存储层、至少一个第一辅助电极和/或至少一个第二辅助电极。多个控制栅电极可以凹陷到半导体层中。多个电荷存储层可以在多个控制栅电极和半导体层之间。第一和第二辅助电极可以布置成彼此面对。多个控制栅电极可以在第一和第二辅助电极之间,第一和第二辅助电极可以与半导体层电容式结合。 |
申请公布号 |
CN101409290A |
申请公布日期 |
2009.04.15 |
申请号 |
CN200810144944.0 |
申请日期 |
2008.08.13 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
金锡必;朴允童;金德起;金元柱;陈暎究;李承勋 |
分类号 |
H01L27/115(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I;G11C16/10(2006.01)I;G11C16/26(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/115(2006.01)I |
代理机构 |
北京铭硕知识产权代理有限公司 |
代理人 |
郭鸿禧;罗延红 |
主权项 |
1、一种非易失性存储装置,包括:至少一个半导体层;多个控制栅电极,凹陷到半导体层中;多个电荷存储层,在多个控制栅电极和半导体层之间;至少一个第一辅助电极和至少一个第二辅助电极,第一辅助电极和第二辅助电极布置成彼此面对,其中,多个控制栅电极在第一辅助电极和第二辅助电极之间,第一辅助电极和第二辅助电极与半导体层电容式结合。 |
地址 |
韩国京畿道水原市 |