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发明名称 ELECTROSTATIC LENS FOR ION BEAMS
摘要
申请公布号 EP1774559(B1) 申请公布日期 2009.04.15
申请号 EP20050775795 申请日期 2005.07.19
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 RATHMELL, ROBERT;BENVENISTE, VICTOR
分类号 H01J37/12;G21G5/00;G21K5/10;H01J37/00;H01J37/30;H01J37/317 主分类号 H01J37/12
代理机构 代理人
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