发明名称 薄膜晶体管、像素结构及其制造方法
摘要 本发明涉及一种薄膜晶体管,其包括一栅极、一栅绝缘层、一掺杂半导体层、一沟道层以及一源极与一漏极。其中,栅极配置于基板上,而栅绝缘层配置于基板上并覆盖栅极。掺杂半导体层配置于栅极上方的栅绝缘层上。此外,沟道层配置于掺杂半导体层上。源极与漏极分别配置于沟道层上的两侧。该薄膜晶体管于关闭状态时具有较低的漏电流。
申请公布号 CN101409308A 申请公布日期 2009.04.15
申请号 CN200710162026.6 申请日期 2007.10.10
申请人 中华映管股份有限公司 发明人 苏大荣;陆文正;谢孟儒
分类号 H01L29/786(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;H01L23/522(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I;G02F1/1368(2006.01)I 主分类号 H01L29/786(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 左一平
主权项 1.一种薄膜晶体管,适于配置在一基板上,其特征在于,该薄膜晶体管包括:一栅极,配置于该基板上;一栅绝缘层,配置于该基板上,且覆盖该栅极;一掺杂半导体层,配置于该栅极上方的该栅绝缘层上;一沟道层,配置于该掺杂半导体层上;以及一源极与一漏极,分别配置于该沟道层上的两侧。
地址 台湾省台北市中山北路三段二十二号