发明名称 |
薄膜晶体管、像素结构及其制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种薄膜晶体管,其包括一栅极、一栅绝缘层、一掺杂半导体层、一沟道层以及一源极与一漏极。其中,栅极配置于基板上,而栅绝缘层配置于基板上并覆盖栅极。掺杂半导体层配置于栅极上方的栅绝缘层上。此外,沟道层配置于掺杂半导体层上。源极与漏极分别配置于沟道层上的两侧。该薄膜晶体管于关闭状态时具有较低的漏电流。 |
申请公布号 |
CN101409308A |
申请公布日期 |
2009.04.15 |
申请号 |
CN200710162026.6 |
申请日期 |
2007.10.10 |
申请人 |
中华映管股份有限公司 |
发明人 |
苏大荣;陆文正;谢孟儒 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;H01L23/522(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I;G02F1/1368(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
左一平 |
主权项 |
1.一种薄膜晶体管,适于配置在一基板上,其特征在于,该薄膜晶体管包括:一栅极,配置于该基板上;一栅绝缘层,配置于该基板上,且覆盖该栅极;一掺杂半导体层,配置于该栅极上方的该栅绝缘层上;一沟道层,配置于该掺杂半导体层上;以及一源极与一漏极,分别配置于该沟道层上的两侧。 |
地址 |
台湾省台北市中山北路三段二十二号 |