发明名称 | 压印方法和器件 | ||
摘要 | 在基片S上形成压印结构P的方法包括:将多个压印工具段(32,40a,40b,40c,50,60,70,80,92)施加到基片的至少一个表面上。在基片S上形成压印结构P的装置(30,90)包括可单独地驱动、可多个成组协调地驱动、或上述两者相组合地驱动的多个压印工具段(32,40a,40b,40c,50,60,70,80,92)。 | ||
申请公布号 | CN101410323A | 申请公布日期 | 2009.04.15 |
申请号 | CN200780010622.0 | 申请日期 | 2007.01.24 |
申请人 | 迈克罗拉布私人有限公司 | 发明人 | 迈卡·J·阿特金 |
分类号 | B81B1/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | B81B1/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 马高平 |
主权项 | 1.一种在基片上形成压印结构的方法,该方法包括:(i)将多个压印工具段施加到基片的至少一个表面上。 | ||
地址 | 澳大利亚维多利亚 |