| 发明名称 | 衬底输送装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台(1、16)和浮起块(11)上形成的多个空气孔(4、18、12)上吹空气而使玻璃衬底(3)浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底(3)在输送方向C上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。 | ||
| 申请公布号 | CN101407284A | 申请公布日期 | 2009.04.15 |
| 申请号 | CN200810177914.X | 申请日期 | 2003.04.16 |
| 申请人 | 奥林巴斯株式会社 | 发明人 | 安田守;藤崎畅夫 |
| 分类号 | B65G51/03(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | B65G51/03(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 黄剑锋 |
| 主权项 | 1、一种衬底输送装置，输送平板显示器制造工艺中所制造的矩形状玻璃衬底，其特征在于，包括：衬底浮起块，形成有空气孔，该空气孔吹出使上述玻璃衬底浮起的空气；槽，在上述衬底浮起块沿上述玻璃衬底的输送方向而形成；以及衬底输送单元，设置成可在上述槽内移动，并且具有吸附保持上述玻璃衬底的背面的吸附衬垫，上述衬底输送单元吸附保持浮起在上述衬底浮起块上的上述玻璃衬底的背面，并在浮起了上述玻璃衬底的状态下向上述输送方向输送。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||