一种面向集成光路的长程表面等离激子波导及其制造方法

摘要

一种面向集成光路的长程表面等离激子波导及其制造方法，涉及一种集成光波导。提供一种基于金属微纳结构的垂直型面向集成光路的长程表面等离激子波导及其制造方法。面向集成光路的长程表面等离激子波导设有衬底，在衬底上设有垂直竖立的金属层，在金属层两侧分别设有一介质层，形成介质层—金属层—介质层3层结构。在衬底上制备支撑材料层，将支撑材料层刻蚀成一个断面垂直的台阶；在台阶断面连续淀积介质层、金属层和介质层。去除支撑材料，得面向集成光路长程表面等离激子波导。也可在介质层—金属层—介质层3层结构的外侧淀积外介质层材料，即得另一种集成光路长程表面等离激子波导。

主权项

1.一种面向集成光路的长程表面等离激子波导，其特征在于设有衬底，在衬底上设有垂直竖立的金属层，在金属层两侧分别设有一介质层，形成介质层-金属层-介质层3层结构；衬底为绝缘介质衬底、半导体衬底或金属衬底，金属层材料为良导体；金属层的宽度为10～200nm，金属层的高度应大于光波半波长。