层图案制造方法、配线制造方法、电子设备的制造方法

摘要

一种层图案制造方法，包括通过形成位于基板上的第1材料层和位于所述第1材料层上的第2材料层，在所述基板上形成由所述第1材料层和所述第2材料层划出的区域的步骤(a)、和从喷出装置的喷出部向所述区域喷出液状的材料的步骤(b)。此外，所述第1材料层的相对于所述液状的材料的疏液性低于所述第2材料层的相对于所述材料的疏液性。由此，可以精度优良地稳定地形成微细化的层图案。

主权项

1.一种层图案制造方法，其特征是，包括：通过形成位于基板上的第1材料层和位于所述第1材料层上的第2材料层，在所述基板上形成由所述第1材料层和所述第2材料层划出的区域的步骤a)、和从喷出装置的喷出部向所述区域喷出液状的材料的步骤b)，所述第1材料层相对于所述液状的材料的疏液性低于所述第2材料层相对于所述液状的材料的疏液性。