发明名称 METHOD OF INHIBITING CORROSION OF COPPER PLATED OR METALLIZED SURFACES AND CIRCUITRY DURING SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PROCESSES
摘要
申请公布号 EP1660954(A4) 申请公布日期 2009.04.15
申请号 EP20040754548 申请日期 2004.06.07
申请人 NALCO COMPANY 发明人 JENKINS, BRIAN, V.;HOOTS, JOHN, E.
分类号 H01L21/02;C23F11/14;H01L21/00;H01L21/288;H01L21/66 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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