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发明名称
METHOD OF INHIBITING CORROSION OF COPPER PLATED OR METALLIZED SURFACES AND CIRCUITRY DURING SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PROCESSES
摘要
申请公布号
EP1660954(A4)
申请公布日期
2009.04.15
申请号
EP20040754548
申请日期
2004.06.07
申请人
NALCO COMPANY
发明人
JENKINS, BRIAN, V.;HOOTS, JOHN, E.
分类号
H01L21/02;C23F11/14;H01L21/00;H01L21/288;H01L21/66
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
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