| 发明名称 | 用于刻蚀硅片的辅助工装 | ||
| 摘要 | 一种用于刻蚀硅片的辅助工装，包括矩形底板和两块矩形立板，两块矩形立板分别连接在矩形底板的相邻两侧边并与相应的侧边平行。采用本实用新型的辅助工装用于刻蚀硅片，可以保证硅片堆叠整齐，边缘平整，有利于游离基与硅材料反应的进行，且表面平整，保证了反应的均匀性。 | ||
| 申请公布号 | CN201220964Y | 申请公布日期 | 2009.04.15 |
| 申请号 | CN200820059213.1 | 申请日期 | 2008.05.30 |
| 申请人 | 上海太阳能科技有限公司 | 发明人 | 郭唯博 |
| 分类号 | C23F1/24(2006.01)I;C23F4/00(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海科盛知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨元焱 |
| 主权项 | 1、一种用于刻蚀硅片的辅助工装，其特征在于：包括矩形底板和两块矩形立板，两块矩形立板分别连接在矩形底板的相邻两侧边并与相应的侧边平行。 | ||
| 地址 | 201108上海市闵行区莘庄工业区申南路555号 | ||