发明名称 NANOCRYSTAL FORMATION
摘要
申请公布号 EP2047502(A2) 申请公布日期 2009.04.15
申请号 EP20070812513 申请日期 2007.06.29
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 KRISHNA, NETY M.;HOFMANN, RALF;SINGH, KAUSHAL K.;ARMSTRONG, KARL J.
分类号 H01L21/28;H01L29/76 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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