自动多焦点调焦装置及其方法

摘要

一种能在使用探测器的大型平板显示器系统中完成精密调焦的自动多焦点调焦装置及其方法，包括：拍摄调焦用图像的多个CCD照相机；具有与各CCD照相机对应的位置信息、基于动作变化及工序变化自动控制调焦照相机的位置及焦点的高度的主机；根据主机提供的照相机位置信息使CCD照相机移动的照相机位置控制部；取得拍摄的调焦图像的图像取得部；识别从图像取得部抽取的调焦图像得到调焦位置信息的图像识别部；基于调焦位置信息产生电机控制信号的电机控制部；与该控制信号对应地使CCD照相机选择性地上下移动而精密调焦的精密电机；基于识别的调焦位置信息产生工作台控制信号的工作台控制部；以及与工作台控制信号对应地使CCD照相机选择性地左右移动来完成精密调焦的超精密工作台。

主权项

1.一种自动多焦点调焦装置，其特征在于，包括：多个CCD照相机，对覆盖调焦标记的全方位视野的白黑(W/B，white and black)调焦用图像进行拍摄；主机，具有与所述多个CCD照相机分别对应的位置信息，基于动作的变化及工序的变化来自动地控制调焦照相机的位置及焦点(WD)的高度；照相机位置控制部，根据所述主机提供的照相机的位置信息来使所述多个调焦用CCD照相机移动；图像取得部，取得由所述CCD照相机拍摄的调焦图像；图像识别部，对从所述图像取得部抽取的调焦图像进行识别而得到调焦位置信息；电机控制部，基于所述图像识别部识别的调焦位置信息产生电机控制信号；以及精密电机，与所述电机控制部产生的控制信号对应地使所述多个CCD照相机选择性地上下移动来进行精密调焦。