基于MEMS工艺的微夹钳及控制系统

摘要

一种基于MEMS工艺的微夹钳及控制系统。该微夹钳由静电力驱动器、力传感器和两个操作臂组成，左臂为驱动臂，力驱动采用静电梳齿驱动结构，右臂为力反馈臂，力传感采用了梳齿电容检测结构。根据微夹钳的机械结构，设计了微夹钳的控制电路，其中包括三个主要部分：力反馈测量电路，驱动电压输出电路，处理单元电路。处理单元采集力反馈测量单元检测到的夹持力的大小，采用PID控制算法，控制驱动电压输出的大小，即控制微夹钳开口的状态，以完成对纳米级操作对象的操作。此微夹钳结构简单、紧凑，体积小，使用灵活，控制精度高，能够完成高精度的夹持工作，适应性强。

主权项

1、一种基于MEMS工艺的微夹钳，其特征在于该微夹钳包括基体，基体一端是由横向梳齿对构成的静电力驱动器，基体的另一端是由竖向梳齿对构成的力传感器，基体中部，即静电力驱动器与力传感器之间，是由驱动臂和力反馈臂组成的双臂。