| 发明名称 | 一种修补聚合物掩模的方法 | ||
| 摘要 | 描述、示出并主张了一种对用于光刻工艺的图案的聚合物掩模进行修补的方法。一般地，聚合物掩模具有两类缺陷，在透明聚合物衬底上的墨斑以及在图案区域的油墨气孔。墨斑通过激光的有效烧蚀来修补，该激光基本不影响聚合物衬底的透明度。油墨气孔的修补是通过多种使用激光辅助的修补工艺的实施方式而完成的，其中，该激光辅助的修补修复了气孔，从而在光刻曝光时阻挡UV光。 | ||
| 申请公布号 | CN101410947A | 申请公布日期 | 2009.04.15 |
| 申请号 | CN200780010794.8 | 申请日期 | 2007.05.11 |
| 申请人 | 飞而康公司 | 发明人 | 李亿基;朴钟国 |
| 分类号 | H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/027(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 余 朦;王艳春 |
| 主权项 | 1.一种对构图的聚合物衬底进行修补的方法，包括：提供具有第一表面和第二表面的透明的聚合物衬底以及位于所述聚合物衬底的所述第一表面上的图案层；在所述图案层和所述聚合物衬底的第一表面上检测缺陷，其中，所述缺陷包括斑点缺陷和气孔缺陷；通过激光辐射除去所述斑点缺陷；以及修补所述气孔缺陷。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||