发明名称 Bonded wafer and method for producing bonded wafer
摘要
申请公布号 EP1895572(A3) 申请公布日期 2009.04.15
申请号 EP20070016998 申请日期 2007.08.30
申请人 SUMCO CORPORATION 发明人 MORIMOTO, NOBUYUKI;ENDO, AKIHIKO
分类号 H01L21/18 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
主权项
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