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经营范围
发明名称
Bonded wafer and method for producing bonded wafer
摘要
申请公布号
EP1895572(A3)
申请公布日期
2009.04.15
申请号
EP20070016998
申请日期
2007.08.30
申请人
SUMCO CORPORATION
发明人
MORIMOTO, NOBUYUKI;ENDO, AKIHIKO
分类号
H01L21/18
主分类号
H01L21/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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