发明名称 |
Ion sources, systems and methods |
摘要 |
Ion sources, systems and methods are disclosed. |
申请公布号 |
US7518122(B2) |
申请公布日期 |
2009.04.14 |
申请号 |
US20060600646 |
申请日期 |
2006.11.15 |
申请人 |
ALIS CORPORATION |
发明人 |
WARD BILLY W.;NOTTE, IV JOHN A.;FARKAS, III LOUIS S.;PERCIVAL RANDALL G.;HILL RAYMOND;MANTZ ULRICH;STEIGERWALD MICHAEL |
分类号 |
H01J49/10;H01J27/02;H01J27/26 |
主分类号 |
H01J49/10 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|