微动模组及包含该微动模组之多轴向微调装置

主权项

1.一种多轴向微调装置，系包含：一第一轴向微动模组，其包含一第一基体、一第一微动体、一第一平衡式连接组件以及二组第一压电元件，该第一基体及第一微动体系内外框套组合，且两者间具有微动空间，该第一平衡式连接组件连接于第一基体与第一微动体之间，该二组第一压电元件系间隔设置于该第一基体上，该二组第一压电元件各包含一推力输出端分别连接该第一微动体；以及一第二轴向微动模组，其系与第一轴向微动模组层叠组合，该第二轴向微动模组包含一第二基体、一第二微动体、一组第二平衡式连接组件以及二组第二压电元件，该第二基体及第二微动体内外框套组合，且两者间具有微动空间，该第二平衡式连接组件连接于第二基体与第二微动体之间，该二组第二压电元件系间隔设置于该第二基体上，该二组第二压电元件各包含一推力输出端分别连接该第二微动体，该第二基体固接该第一微动体，且该二组第二压电元件之推力输出方向相对于该二组第一压电元件之推力输出方向具有一介于0度至180度间之夹角。2.如申请专利范围第1项所述之多轴向微调装置，其中，该第一基体、第一微动体、第二基体以及第二微动体为矩形框体，该二组第一压电元件设于该第一基体一侧边，该二组第二压电元件设于该第二基体邻近第一压电元件之一侧边，该二组第二压电元件之推力输出方向相对于该二组第一压电元件之推力输出方向呈90度之夹角。3.如申请专利范围第1或2项所述之多轴向微调装置，其中，所述第一平衡式连接组件包含复数个挠性铰链，该复数个挠性铰链系衡平分布地连接于第一基体与第一微动体之间；所述第二平衡式连接组件包含复数个挠性铰链，该复数个挠性铰链系衡平分布地连接于第二基体与第二微动体之间。4.如申请专利范围第3项所述之多轴向微调装置，其中，第一基体、第一平衡式连接组件之复数挠性铰链以及第一微动体系以一板体加工而形成一体的构件；第二基体、第二平衡式连接组件之复数挠性铰链以及第二微动体系呈一体的形式。5.如申请专利范围第4项所述之多轴向微调装置，其中，该第一平衡式连接组件之挠性铰链之角位移方向与该第一基体及该第一微动体之平面法线方向平行；该第二平衡式连接组件之挠性铰链之角位移方向与该第二基体及该第二微动体之平面法线方向平行。6.一种微动模组，系包含：一基体；一微动体，与该基体形成内外框套组合，且两者间具有微动空间；一平衡式连接组件，系包含复数挠性铰链，该等挠性铰链衡平地连接于该基体与该微动体之间，且该基体、复数挠性铰链及微动体系成一体形式之构件；以及二组压电元件，系间隔设置于该基体，该二组压电元件各包含一推力输出端分别连接该微动体。7.如申请专利范围第6项所述之微动模组，其中，该基体、复数挠性铰链及微动体系以一板体加工而形成一体的构件。8.如申请专利范围第6或7项所述之微动模组，其中，该二组压电元件系平行设于该基体一侧边。9.如申请专利范围第6项所述之微动模组，其中，该二组压电元件，系间隔设置于该微动体，该二组压电元件各包含一推力输出端分别连接该基体。10.如申请专利范围第6或9项所述之微动模组，其中，该等挠性铰链之角位移方向与该基体及该微动体之平面法线方向平行。图式简单说明：第一图系本创作微动模组之一较佳实施例之立体示意图。第二图系第一图所示微动模组较佳实施例之平面示意图。第三图系本创作多轴向微调装置之一较佳实施例之立体分解示意图。第四、五图系分别为第三图所示多轴向微调装置较佳实施例之第一、第二轴向微动模组之平面示意图。第六、七图系第三图所示多轴向微调装置较佳实施例组合后之立体外观示意图及俯视平面示意图。第八~十图系第三图所示多轴向微调装置较佳实施例之进行微调操控之示意图。