| 摘要 |
1. Корпускулярно-оптическая система формирования изображения, содержащая вакуумную камеру, в которой размещены предметный столик с источником освещения и расположенные по направлению передаваемого изображения объектив, дисперсионный магнитный дефлектор, аберрационный корректор, выполненный на базе электростатического зеркала, блок транспортирующих линз и проекционный блок, отличающаяся тем, что она дополнительно оснащена компенсатором угловой энергетической дисперсии, расположенным между объективом и аберрационным корректором, при этом оптическая ось компенсатора угловой энергетической дисперсии сопряжена через дисперсионный магнитный дефлектор с оптическими осями объектива и аберрационного корректора. ! 2. Корпускулярно-оптическая система по п.1, отличающаяся тем, что компенсатор угловой энергетической дисперсии представляет собой электростатическое безаберрационное зеркало, оптическая ось которого сопряжена через дисперсионный магнитный дефлектор с оптическими осями объектива и аберрационного корректора и настроено в режиме компенсации дисперсии. ! 3. Корпускулярно-оптическая система по п.1, отличающаяся тем, что компенсатор угловой энергетической дисперсии включает компенсирующий магнитный дефлектор, вход которого оптически связан с выходом дисперсионного магнитного дефлектора с помощью блока направляющих электронных линз. ! 4. Корпускулярно-оптическая система по пп.1-3, отличающаяся тем, что дисперсионный магнитный дефлектор выполнен из расчета поворота оптических осей на угол, кратный 72°, с получением пяти выходных оптических каналов для установки электронной пушки в одном из них. ! 5 |
