| 发明名称 |
COMPOSANT ELECTROMECANIQUE VIBRANT A L'ECHELLE NANOMETRIQUE OU MICROMETRIQUE A NIVEAU DE DETECTION AUGMENTE |
| 摘要 |
Il s'agit d'un composant électromécanique vibrant à l'échelle nanométrique ou micrométrique comportant un élément mécanique vibrant (1) qui coopère avec au moins une électrode dite de détection (2). L'électrode de détection (2) est souple et est destinée à vibrer en opposition de phase par rapport à l'élément mécanique vibrant (1).Application aux résonateurs ou aux capteurs de mouvement.
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| 申请公布号 |
FR2921916(A1) |
申请公布日期 |
2009.04.10 |
| 申请号 |
FR20070058173 |
申请日期 |
2007.10.09 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE INDUSTRIEL ET COMMERCIAL;STMICROELECTRONICS SA |
发明人 |
CASSET FABRICE;DURAND CEDRIC |
| 分类号 |
B81B7/02;B06B1/02 |
主分类号 |
B81B7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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