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发明名称 MAGNETLAGERVORRICHTUNG UND TURBOMOLEKULARPUMPE
摘要
申请公布号 DE69840607(D1) 申请公布日期 2009.04.09
申请号 DE1998640607 申请日期 1998.12.02
申请人 EBARA CORP. 发明人 TAIRA, AKIKO;CHINO, HIROYUKI;NAKAZAWA, TOSHIHARU;MIYAMOTO, MATSUTARO
分类号 F16C32/04;F04D19/04;F16C39/06;G08C19/02 主分类号 F16C32/04
代理机构 代理人
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