Optisches System, insbesondere Projektionsobjektiv der Mikrolithographie

摘要

Ein optisches System, insbesondere ein Projektionsobjektiv der Mikrolithographie zur Herstellung von Halbleiterelementen, ist mit einer optischen Achse (z) und mit wenigstens einem optischen Element (8), das in einer Fassung (9) angeordnet und das mit Verstellelementen versehen ist, versehen. Das optische Element (8) ist mit einem drehbaren Tragring (12) über wenigstens ein am Tragring (12) angeordnetes Verbindungsglied (13) direkt oder über ein oder mehrere Zwischenelemente (14, 15) mit dem optischen Element (8) verbunden. Der drehbare Tragring (12) ist gegenüber einer feststehenden Außenfassung (9) mittels einer Verdreheinrichtung (16) um eine optische Achse (z) frei drehbar gelagert.